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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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陶瓷滤芯UCF系列

  • 管状部件过滤精度0.01μm推荐流量10~160L/min
    ● 低压力损失
    氮气以10ℓ/min速度通过过滤器,输入侧压力0.1MPa,输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。
    ● 高过滤精度
    0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999%。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
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