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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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哈司特镍合金UCH-M系列

  • 过滤精度0.003μm推荐流量15~250L/min
    ● 全部材质采用哈司特镍合金®。
    ● 高洁净度:全部产品交付出货时,内部经过特殊洗净,通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
    ● 高流量高压差的情况下,也能高效率的除去0.003μm以上の粒子。
    ● 高耐热性能460℃
    ● 具备10ℓ/min的小流量用到250ℓ/min的中流量用的各种型号供选择。
    ● 低压力损失:和以前的金属过滤器相比较,压力损失极低、体积小巧且能够处理高流量的气体。
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