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通气过滤器FBA系列

半导体制造装置上使用的，在加载互锁真空室(Load lockchamber)和搬送室(Transfer chamber)等中，进行真空破坏时发生颗粒扬起和过渡乱流可能会给硅片带来颗粒附着和损伤。过去为了缓慢导入氮气而进行缓慢通气防止了同样现象的发生，但使用Pureron的通气用过滤器的话，缓慢通气就不需要了，生产量也能得到大幅增长。
· 所有材质都是由SUS316L 构成的。
· 有着优秀的耐热性。
· 具有高性能的过滤精度。
· 由于形状做成了杯子型，所以从前端出来的气体能更容易喷出。

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