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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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PC-600系列

  • 适合HBr,HCl等卤素系列反应性,腐蚀性特殊气体使用,气体接触部分采用哈司特镍合金,腐蚀性特殊气体专用的压力传送器
    半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此,我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。
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