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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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陶瓷滤芯PGF-11系列

  • 过滤精度0.003μm推荐流量500~3,000L/min
    ● 超大流量
    适用于输入侧一次性流量在500~3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
    ● 高过滤精度
    0.003μm的高过滤精度,使用脉动性强的陶瓷元素,几乎不会堵塞,因此几乎没有必要进行定期性的维护。
    ● 高性能
    专用的200℃烘烤加热器(可选项),能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
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