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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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纯化器GP_GPF系列

  • 净化材料:金属、吸气剂、其它
    ● 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中最大1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
    ● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
    ● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,最大100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。
    ● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。
    ● 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
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