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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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陶瓷滤芯PGF系列

  • 蜂窝状构造部件过滤精度0.003μm推荐流量10~200L/min
    ● 高过滤精度
    在超微LSI制造工艺中,要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说,管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器,从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。
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