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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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金属滤芯UCS-M系列

  • 管状部件过滤精度0.003μm推荐流量15~250L/min
    ● 全部材质采用SUS316L不锈钢
    ● 高清浄度:全部产品在交付前经过内部特殊洗净,通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
    ● 高流量、高压差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
    ● 高内热性 460℃
    ● 具备10ℓ/min的小流量到250ℓ/min的中流量各种型号。
    ● 低压力损失:和以往的金属过滤器相比,压力损失非常低,体积小巧但能够处理高流量气体。
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