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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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陶瓷滤芯SPC系列

  • 管状部件过滤精度0.003μm推荐流量10L/min
    ● 超小型、轻量
    SPC系列是超小型(Φ21×84mm)、轻量(90g)设计。最适合于安装在空间狭小的气瓶柜等装置的场合。
    ● 高过滤精度
    滤芯采用多层构造的陶瓷、过滤精度非常出色。全部过滤器在交付时,经CNC粒子计数统计,确认0.003μm的粒子为零后才出货。
    ● 低排气性能
    陶瓷过滤器和全金属过滤器相比,水分吸收量少,具有出色的排气性能。
    ● 无死角
    过滤器构造充分考虑抑制过滤器内部的气体滞留部分,具备出色的气体置换性。
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