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张家港普瑞伦半导体设备有限公司

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PTFE滤芯TF系列

  • 过滤精度0.01μm推荐流量40~300L/min
    ● 高过滤精度
    过滤膜采用2层PTFE,多年使用都不会变形,具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.01μm的微粒子捕捉实验。
    ● 低压力损失
    过滤膜采用PTFE,多年使用都不会变形,具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.003μm的微粒子捕捉实验。特别是TF-4系列的膜采用积层构造,有效过滤面积大、压力损失小。
    ● 高耐腐蚀性
    滤芯膜、滤芯支持体、O型密封圈等均采用氟化树脂,外罩采用SUS316L,气体接触部分全部精加工,粗糙度研磨至Rmax 0.5μm以下,经过静态处理。
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